、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够，我们的项目还是没成功。”

说到最后，万宁古的眉毛全都皱了起来。他对这台光刻机主体系统的精度很担心，心里没有十足的把握。

听到这话，许振鸣的心情也好不起来。“你们需要多长时间来准备？”念及此，许振鸣想要知道万宁古等人的总装和调试计划。

“三天左右吧。”何昌林扫了一眼现场的情况，缓缓说道。

“三天恐怕不行，最少要五天时间。”

“最多五天时间，许董。五天以后，我们就能做流片试验了。”

万宁古和郝宁等人的意见还不统一，一个说要三天多，一个说要五天时间。

看到这种情况，许振鸣微微点了点头，“好，五天以后我再看你们的成果。”说完这些，他也没心思在这里等待着，拿着一摞报表资料就离开了4号钢构大厂房。

五天后的上午九点左右，许振鸣再一次的来到这间光刻室，想要了解万宁古等人的项目进度情况。

这时候，车间里已经整理干净，一台组装好的光刻机矗立在车间的正中央。

这台光刻机就是万宁古等人的劳动成果，主体系统全是一鸣集团公司自己制造的，激光光路系统是从此米国佬光刻上拆下来的样品。

“准备开机，先启动冷却循环水交换器系统。””万宁古此时拿着对讲机，给手下的团队成员们下达命令。

看到许振鸣走来，他嘴角含笑的告诉许振鸣，“许董，这台国产光刻机我们已经完成初步调试，到目前为止还没有发现问题。”

万宁古告诉许振鸣，一天以前他们就已经完成光刻机的总装，第一次初步调试发现有问题，国产激光光源系统的散热有缺陷会影响第第三代光刻机的性能。

“所以，我们临时增加一个循环水的冷却系统来给这台光刻机降降温。”万宁古笑了笑。

许振鸣不了解这些技术细节问题，只是对这台光刻机的成功时间节点感兴趣。“你们现在准备干吗？马上要调试了么，吗”他侧脸朝万宁古等人看了一眼。

“许董，我们现在就是在测试这台光刻机。”

“还有一个小时，我们就能做流片模拟实验了。”

何昌林等人给出许振鸣明确的答复。由此看来，他们已经对这台国第三代光刻机进行过初步调试和试生产，否则没有这么大的底气。

听到