一步该怎么检查光刻机故障的排除方法。”

说完这些，万宁古也没休息一下，急匆匆的去了光刻室。

…………

…………

下午一点钟左右，当许振鸣再次来到光刻室的时候，万宁古等人已经开完现场的技术讨论会，正在解体那台光刻机。

按照梁宋松的提议，万宁古把所有技术人员分成两组。

一组技术员在梁宋松的带领下，准备测试米国产的激光光路系统；一组技术员由他自己带领，准备检查这台光刻机的主机系统。

老米的激光光路系统做工的确不错，和光刻机主机系统的连接是采用接驳技术，液压锁定，刚性连接。

这种连接方式拆卸起来比较方便，给主机系统造成的震动量非常少，不会影响主机系统的精度。

但这种接驳式的刚性连接方式对接口机构的精度要求非常高，一旦有细微的精度误差，就会无限放大，并且把主机系统的震动量传导给激光光路系统。

许振鸣虽然不懂激光光路系统的技术原理，对机械传动机构的原理还是比较清楚的。

当他看到拆卸开的接驳结构以后，眉头不由得皱了皱，“这个接驳机构的精度要求一定很高，我们集团公司的加工能力肯定做不到吧？”

“万总，我们这边已经好了，现在就做激光光源测试吗？”这时，前来帮忙的郝宁蹲下身子，朝激光光源系统的接驳装置看了看。

郝宁是激光系统的专家，为了配合万宁古小组的行动，把自己手下的两位骨干胡磊和李峰都一起带来帮忙。

胡磊是光学仪器的技术专家，此时正在操作一台进口的激光能量检测仪。

李峰也是光学镜片的技术专家，此时已经把激光光谱分析仪器的靶子调试好，随身能伸入激光光路的激光头下面做实验。

看到这一幕，万宁古稍稍一顿，半蹲的身子站了起来。“嗯，按照计划应该先做激光光路系统的检测，这样能快速排除故障原因。”他眉头微皱的点点头。

这是个非常难的决定，一句话就要消耗几百万元的测试费用。激光光源的检测需要消耗掩膜片、光刻胶、中间试剂、保护镜片等各种进口的原材料。

不过，为了提高光刻机故障的排查效率，万宁古还是果断的做出抉择。在说话的同时，他用眼角的余光瞥了一眼许振鸣。

许振鸣此时半蹲着，目光一直停留在激光光路系统的接驳机构