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但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出现问题，逻辑上怎么也解释不清楚。

带着这种疑问，万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。

时间不久，他担心的事情出现了……

当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后，监视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。

“报告许董，主机系统重复精度小于0.001毫米，数据正常。”

“报告万总，主机系统的震动量误差都在量级以内，不会对光刻程序造成影响。”

“报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”

“这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”

“……”

技术员们非常专注，每出现一个数据就会把情况如实汇报。

通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了！

另一边，郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程，一切也正常。

不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，在正常范围之内。

由此看来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问题，性能非常稳定。

看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”

“这…这事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两手一摊，看着许振鸣苦笑，并且直摇头。

今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问题。

但现在一番检测下来，这两台设备的情况都很正常，问题到底在哪里？

“两台设备单体都正常，组装在一起就不正常。在组装的时候，我们做过哪些改动程序？”

这时，许振鸣慢慢的蹲下身子，目光落在光刻机主体系统的接驳机构处。他的意思很明确，就是这个接驳机构出了问题。

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