第481章 真假1微米(4)

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“这些cmp技术也要交给我们俩弄吗?”

今天得到信息量太大了。两个年轻人很有种目不暇接的感觉。

多重图案技术,一听就明白,也就敢照亮照亮。但是cmp技术,涉及的就是就是真刀真枪了。

机械研磨,研磨液怎么办,研磨速度,机加工精度,这里面就没有一个是简单的。

他们两个与成永兴多少面临同样的问题,那就是毕竟学习时间太短,基础知识不牢靠。

“这几个技术,我会交给其他人进行研发。”

这个cmp技术,也很重要,但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比,谁先采用了。早采用,早受益。它完全可以光明正大的搞起来。

这也是为什么这个技术,被叫做真1微米的原因。

cmp技术摆在前台做幌子,多重图案技术藏在后面。

“是要交給赵主任他们吗?”

“我会另外安排。你们就不用管了。”

这确实是个令人头疼的问题。

工大在集成电路工艺上面,这两年也做出了些成果,但毕竟底蕴不足。

另外,术业有专攻。只靠一个专业的十几个人,去包打天下,根本就不现实。

赵主任领着一群弟子,已经在集成电路设计方面,狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。

这些技术,很多都是系统性的。它甚至不是靠一两台设备,一两个设备厂家能搞定的。

引入第三方力量,就是必须。

不过这个事情不急。幌子的作用,主要还是幌子。

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“我们现在干什么?”

“第一步还是先来验证概念,另外要试验一下,看lele和samp这两条路,哪一条更容易实现,难度最低。”

多重图案技术法,有两条实现路线。一条是lele,另一条是samp.

lele是将设计版图分解成两套独立的低密度图形,通过两次单独曝光和两次单独刻蚀,然后叠加在一起,形成更精细的图案。<

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