式，也被asml采用过，他们就跳过了157纳米，直接进军13.5纳米，花了十年时间，最后奠定了霸主的地位。

而此时，193纳米的相关理论和技术，都已经成熟，直接跳跃，风险不大。

多亏了lcd产业链的高利润，才使得光电能够启动晶圆光刻机的项目。而且，一启动，就是两个项目同时启动。

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光电设备在春城和奉天，也还有业务模块（cmp分部）。春城的业务板块，由于成永兴的南迁，将被划拨给他直辖。

成永兴与张燕，陪着刘部长到奉天走了一圈，主要目的是参观《奉天科仪》。

奉天科仪业务相对比较独立，这几年也一直独立发展，不怎么用光电总部操心。

随着光电进军晶圆产业，奉天科仪和光电科仪的分家变得毫无意义，所以两家单位再次合并，成为了一家。

光电科仪，在完成了对奉天科仪的反收购后，如今也是家大业大。曾经的起家产品，mocvd随着led的上升周期，又迎来了大量的产能订单。

不论是iii型还是简易型mocvd，卖得都不错。这个结果也使很多人百思不得其解。

当初的奉天科仪与光电科仪分家的时候，mocvd是红红火火，结果一分家，就彻底凉了。等两家再次合并，mocvd就又火了，而且是大火。这让人到哪里说理去？

科仪的lcd用pecvd，这两年一直在充当印钞机的作用。由于《美国应材》的退出，光电科仪已经在世界上，形成了对这个行业的事实垄断。

led和lcd两个产业带来的巨额利润，使得公司在晶圆cvd和pvd设备上，也取得了进展，为光电的晶圆战略，提供着坚实的底气。

从技术能力和水平上来说，光电科仪实际上是光电系技术能力最强的单位。

这里的原因有三个。

第一个，光电科仪背靠奉天。奉天的经济形势，虽然从数字上看还可以，但总的来说，比冰城差得不是一丝半点。

所以奉天其他公司的科研人员，被光电科仪的高工资，高福利所吸引。光电科仪背靠光电系以及中科院两棵大树，吸引力不是一般的强。

第二，从全国的范围来说，所有的科研院所如今的日子都不好过。科仪的分分合合，实际上又从中科院体系里抽了一管子血进来。

第三个，受限经费压力，中科院体系也在倾向性的把一些被放弃的研发项目组，连人带项目，