我们研发了一种高功率193nm准分子激光器，使用氟气、氩气以及氦气混合气体作为工作介质，可输出arf最大脉冲激光能量424毫焦耳，总功率基本稳定在1%。激光器由内径8.4cm的玻璃钢圆筒做成，总长94cm。

电极采用张氏均匀场型面电极，电极有效平取宽5mm，电极长80cm，两电极之间距离2.1cm。”

此时的长实验室。

“王院士，供电系统已经准备完毕。”

“开始实验。”

...

“2001年11月17，晴。

王院士的加入让团队信心大增，30多名科研人员连续攻坚一个月，终于在光束稳定技术上取得了成果。

此次的光束稳定系统包括光束测量和光束转向两大核心功能模块，在推导了两个模块之间的光束传递矩阵后，王院长非常大胆的决定搭建光电闭环控制系统，通过引入已知光束偏移量后，数据显示，系统的指向稳态误差低于±3μrad，位置稳态误差低于±0.04mm，系统调整时间小于80ms。

实验结果令人振奋。”

“2001年11月28，晴。

由长光所和江大共同组建的扩束系统小组带来了好消息，全新设计的系统可以满足光束在5-20m传输光路范围内不需要进行透镜间隔调节，实现光斑大小和发散角满足设计要求，保证目标光束口径在mm范围内，x方向发散角为1.2mrad，y方向发散角为1.84mrad。

该项研究将对光刻机研发产生巨大影响。”

此时的长实验室。

“王院士，光源能量稳定，光斑数据正常。”

“打开遮光器。”

“是。”

...

“2001年12月1，晴。

今天从江大的李教授提出了一个前沿的研究，针对准分子光源特，提出了基于光棒和复眼的实现对掩膜面高均匀照明的两种方法。

针对入准分子激光强度的波动和强度分布的随机，提出采用阵列型照明模式变换元件对光束进行变换，以实现各种照明模式下光瞳的对称和一致。

研究了相干因子调整系统

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