中可能存在的各种误差源对相干因子、光瞳椭圆度、光瞳极平衡、远心度的影响。”
“2001年12月5,晴。
清华,燕航以及长光所成功合作研制了全新衍光学元件,极大的降低了杂散光的影响,全新的算法将为我们自主研发的光刻机提供强有力的技术支持。”
此时的长实验室。
“王院士,可以进行数据采集了。”
“开始吧。”
“是。”
...
“2001年1月8,晴。
这是意义深远的一天,物镜高数值孔径和极小的系统波像差矛盾一直都是光刻机物镜领域的最大难点。
现在通过非球面元件和反元件的配合,我们有望突破这一技术难点,虽然这一次的元件基本是在霓虹国定制的,但解决了上游难题,下游元件的自研只是时间问题。”
...
通过徐国华的笔记本,孟谦基本了解了光刻机项目这半年的研发况和主要成就,虽然只有半年的时间,还无法实现更全面的自研自产,但一个又一个核心技术的突破,是华夏科研力量最好的展现,
光刻机设计的核心技术实在太多了,光是一个曝光系统涉及的专利就能有上千个,曾经那一世,这些核心技术基本上跟华夏都没什么关系。
但现在,在华夏的土地上,科研力量正在光刻机领域生根发芽。
光刻机这块大骨头,正在一点一点的被华夏科研人员啃食。
这只是半年的成就,一年后,两年后,五年后呢?
孟谦内心翻滚,曾经那一世,他没有机会也没有资格见证华夏老一辈科研者的实力,这一世,他是何其幸运,可以亲眼目睹。
中午,送餐的人来了,孟谦小心翼翼的将徐国华的笔记本放回到抽屉里。
“孟总,几点了?”这是徐国华今天第五次问这个问题了。
“11点半。”孟谦把菜盒打开,“至少得到晚上才能出结果吧,徐老师再耐心等等。”
午饭后,一晚没睡的孟谦迷了一觉,下午三点,因为被护士查房吵醒,孟谦简单洗了把脸继续等待。
傍晚五点,孟谦跟徐国华终于等来了两个风风火火的脚